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設備: 旋轉塗佈裝置
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旋轉塗佈裝置
用於生產顯示器面板的旋轉塗佈機,目前仍仰賴日本進口;顯示器Array製程中,旋轉塗佈設備(Spin Coater)用來將化學藥劑塗佈於玻璃基板(Glass Substrate),使藥劑成膜、介於光阻(Photoresistor)與玻璃基板間;隨著化學藥劑對揮發性要求愈高、愈趨易燃的發展趨勢,日、韓…等國現正積極研發因應的防爆技術與設備,藉以防止新式藥劑在製程中產生災害事故
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修改日期:2012/09/17